TopWave DUV

産業グレード cw UVレーザー

TopWave DUVレーザーシリーズは、高性能な周波数変換システムを提供してきたトプティカ社の数十年にわたる経験に基づいて開発されました。

産業グレードの連続波深紫外レーザーシステムは、229nm、257nm、266nmの3つの波長をご用意しております。出力は266nmで最大300mWのモデルがございます。

産業用途、特に深紫外の製品については信頼性が重要な鍵となります。当製品シリーズは長寿命と安定した回折限界ビーム品質(M² < 1.3)を提供するため、UVビーム経路全体が特別に密閉されたコンパートメントに収められています。完全に自動化されたクリスタルシフターと組み合わせることで、典型値10,000時間の寿命を実現しています。

    Key features

    • 波長ラインナップ:229 nm, 257nm, 266 nm
    • 出力:最大 300mW
    • 卓越した出力安定性
    • ビーム品質:M² < 1.3
    • 寿命:  > 10.000 h
    • ハンズ-オフ 操作

    Applications

    • 半導体 検査/計測
    • 光部品テスト
    • 深紫外ラマン分光
    • フォトルミネッセンス
    • タンパク質検出
    • リソグラフィー/ マスク描画
    • ナノ構造
    • 回折格子

     TopWave 266TopWave 257TopWave 229
    波長266 nm ± 0.5 nm257 nm ± 0.5 nm228.5 nm ± 0.5 nm
    出力レベル150 / 300 mW15 mW10 mW