超短レーザパルスはテラヘルツエミッタ内に過渡電流を発生させその結果テラヘルツ範囲の広いスペクトルを有する電磁波束を発生させます。検出器においては入射したテラヘルツパルスは材料の特性に依存しその特性（例えば導電率または複屈折などの特性）を変化させレーザパルスはプローブ信号としての効果を示します。可変遅延ステージはレーザーパルス(プローブ信号)の時間シフトコピーを伴ったテラヘルツ波パケットをスキャンします。得られたテラヘルツ振幅トレース信号を高速フーリエ変換することでテラヘルツスペクトルが生成されます。

TOPTICAのTeraFlash proは、1.3 fsの時間分解能を持つ高精度の遅延ステージを採用しています。その結果、本システムは20秒以内で6 THzの帯域幅と95 dBのピークダイナミックレンジを実現します。TeraFlash smartは、従来の機械的遅延を「超高速」電子的な遅延に置き換え、1600/秒のパルストレースを取得します。

テラヘルツエミッタには最も確立された技術を用いたGaAsまたはInGaAsベースの光導電スイッチを採用しています。他のテラヘルツ発生メカニズムとしてGaP、ZnTe、DASTなどの非線形結晶を用いた方法も存在します。また励起用光源としてトプティカ社のFemtoFiberレーザーはすべての一般的なエミッタータイプに適合する優れた光学仕様を提供します。