TopWave 257

2倍波アルゴンレーザーに近い波長の置き換えとして、TopWave 257 は敢えて低出力を要求する半導体検査用、或いはオプティクス検査用などの深紫外アプリケーションに対して、エキサイティングで新しい選択肢となります。

TopWave 257の将来性のあるコンセプトは、環境への配慮、オペレーティングコストに関連し、旧式のガスレーザーシステムの遥か先を目指します。高い電気的効率のため、大きな水冷装置を必要とせず、消費電力はガスレーザーの1%以下、結果として実質的なランニングコストを99.9%以上節約します。

TopWave 257 レーザーヘッドは、コンパクトなフットプリント、及び低熱消費により、制限されたスペース、また温度に敏感なアプリケーションにおける環境での容易なインテグレーションを可能にします。使い勝手が良く、システム寿命(typ. 10,000 hrs)におけるハンズ-オフ操作は、内部光学メカニクスの完全自動最適化ルーチンに起因します。最大の信頼性、回折限界ビーム品質 (M² < 1.3)を得るために、全てのUVビームパスは、特別にシールドされた区画に密閉されています。

最先端のコントローラーにより、TopWave 257は、操作に関して幅広いオプションをご提供します。一方で、実験室のユーザーは、コントローラーにタッチスクリーンのような使い勝手の良さ、或いは専用ソフト TOPAS PC GUIを必要とするかもしれません。システムインテグレーターに対して、主要なコントロールソフトウェアにより、包括的なコマンド言語によるスムーズなインテグレーションを可能にします。